참엔지니어링, 가스 분사 어셈블리 관련 특허 취득

[뉴스토마토 신익환기자] 참엔지니어링(009310)은 가스 분사 어셈블리 및 기판 처리 장치와 관련한 특허권을 취득했다고 24일 공시했다.

 

회사 관계자는 "본 특허기술을 활용해 반도체 생산 공정 장비 경쟁력을 강화하겠다"고 밝혔다.