원익IPS, 반도체 장비관련 특허 취득

[뉴스토마토 김세연기자] 원익IPS(030530)는 28일 반도체 장비 관련 경쟁력 강화를 위한 유량조절 블럭을 구비한 샤워헤드의 국내특허를 취득했다고 공시했다.

 

이번 특허는 가스 분사 균일성 개선을 위해 유량 조절 블럭을 포함하는 샤워헤드에 대한 것으로 가스 공급 조건이 변경되도 균일한 가스 확산이 가능하게 되는 것이다.