테스, 기판처리장치 관련 특허 취득

[뉴스토마토 정해훈기자] 테스(095610)는 모든 기판을 균일하게 처리할 수 있는 기판처리장치와 관련한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.

 

회사 측은 "열에 의해 분해된 가스가 재결합돼 챔버 내에 파우더 형태로 잔존하는 것이 방지된다"며 "또 가열 램프의 온·오프에 의해 챔버 내의 분위기가 급변되는 것이 방지된다"고 밝혔다.