원익IPS, 반도체 소자 제조 방법 특허 취득

[뉴스토마토 김용훈기자] 원익IPS(030530)는 4일 '반도체 소자 제조 방법'에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.

 

이번 특허는 서로 다른 유전율을 갖는 박막을 증착하는 방법에 관한 기술로 이 회사는 반도체 장비의 경쟁력 강화에 쓰일 계획이다.