원익IPS, 가스분사 장치 관련 특허권 취득

[뉴스토마토 이한승기자] 원익IPS(030530)는 지난 2일 가스분사 장치 및 이를 구비하는 기판 처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 3일 공시했다.

 

회사는 이 특허가 반도체 제조 장치 중 가스분사 장치에서 공급되는 공정 가스의 흐름을 원활하게 하고 파티클 발생을 억제하기 위한 기술이라고 설명했다.