테스, 반도체 기판처리 기술 특허

[뉴스토마토 김현우기자] 테스(095610)는 5일 가스 혼합 과정에서 파우더가 발생하는 것을 막아 기판에 파티클이 형성되는 것을 방지하는 기술에 대해 특허를 받았다고 공시했다.