테스, 로드락 챔버 특허권 취득

[뉴스토마토 김희주기자] 테스(095610)가 웨이퍼 정렬장치와 이를 포함하는 로드락 챔버를 개발하여 특허권을 취득했다고 24일 공시했다.

 

회사는 이 기술을 통해 반도체 제조의 생산성을 향상시켜 제품경쟁력을 강화할 예정이다.