테스, 기판 처리 장치 특허권 취득

[뉴스토마토 김희주기자] 테스(095610)는 17일 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 이날 공시했다.

 

본 특허는 태양전지 제조장치와 관련된 것으로 이를 통해 기판 처리 공정의 균일도와 신뢰도를 향상시킬 수 있다.