테스, 미립자 발생없는 패턴 형성법 특허 취득

[뉴스토마토 이한승기자] 테스(095610)는 고체 미립자인 흄 발생없이 패턴을 형성하는 방법에 대한 특허권을 취득했다고 27일 공시했다.

 

회사는 이번 특허로 공정간의 시간 지연에 의해 발생하는 패턴 내부의 흄을 효과적으로 제거할 수 있다고 밝혔다.