에스엔유, 반도체 투명 박막층 측정 특허

[뉴스토마토 송종호기자] 에스엔유(080000)는 12일 반사도분포곡선의 모델링방법과 이를 이용한 두께 측정방법 및 측정 반사계에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

 

에스엔유 취득한 특허에 대해 "LCD, 반도체 분야에서 많이 사용되는 투명 박막층의 두께를 모니터링해 후공정 수율을 높이는데 사용된다"고 설명했다.