테스, 기관 처리 장치 관련 특허 취득

[뉴스토마토 이한승기자] 테스(095610)는 '기관 처리 장치 및 이의 배기 방법'에 관한 특허권을 취득했다고 6일 공시했다.

 

이번 특허로 반도체 제조공정 중 하나인 박막 증착시 측방배기를 실시해 우수한 균일도를 실현할 수 있고, 세정 공정시 하방 배기를 실시해 세정효율을 높일 수 있을 것이라고 설명했다.