테스, 가스 공급 플레이트 관련 특허권 취득

[뉴스토마토 김보선기자] 테스(095610)는 가스 공급 플레이트와 이를 포함하는 플라즈마 발생장치에 관한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다.

 

테스는 "이 특허를 통해 사다리형 전극의 형상이 증착막에 전사되는 것을 방지하고, 고주파수에서 선형전극부의 임피던스가 감소되는 효과를 볼 수 있다"고 설명했다.