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테스, 공정 챔버 슬릿 개폐장치 특허 취득
입력 : 2011-09-30 오전 11:07:28
[뉴스토마토 안후중기자] 테스(095610)는 장비 제조시 공정 챔버 내부의 온도를 전체적으로 균일하게 유지할 수 있는 슬릿 개폐장치 특허를 취득했다고 30일 공시했다.
 
안후중 기자


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