[뉴스토마토 김나볏기자] 반도체, 태양광 및 LED 관련 흑연부품업체
티씨케이(064760)가 실리콘 소재 생산을 위한 기판 형성방법에 관한 특허를 취득했다고 10일 공시했다.
이 기술은 벌크 형태의 CVD 실리콘 소재 생산을 위한 것으로, 고순도 실리콘 소재의 반도체용 전극이나 링 제조에 활용될 예정이다.
뉴스토마토 김나볏 기자 freenb@etomato.com
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